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burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析

發(fā)布時(shí)間: 2025-03-28  點(diǎn)擊次數(shù): 250次

burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析

8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*50nl/min95%Ar+5%H2,標(biāo)定壓力4bar,鋁基座,G1/4寸,PROFINET

控制器| 95% Ar + 5% H2 | 5000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | PROFINET

熱式氣體質(zhì)量流量控制器是一種基于熱傳導(dǎo)原理,通過(guò)測(cè)量氣體流動(dòng)時(shí)帶走熱量的變化來(lái)精確控制氣體流量的設(shè)備。其核心優(yōu)勢(shì)在于不受溫度、壓力變化影響,可直接測(cè)量質(zhì)量流量,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、環(huán)保、科研、醫(yī)療及航空航天等領(lǐng)域。以下是其技術(shù)原理、行業(yè)應(yīng)用及選型要點(diǎn)的詳細(xì)解析:

技術(shù)原理與核心優(yōu)勢(shì)

工作原理

熱式傳感器:內(nèi)置加熱元件和測(cè)溫元件,當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí),加熱元件的熱量被氣體帶走,測(cè)溫元件檢測(cè)溫度變化(ΔT)。

流量計(jì)算:通過(guò)ΔT與氣體質(zhì)量流量的線性關(guān)系,結(jié)合PID控制算法,實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)閥門開(kāi)度,實(shí)現(xiàn)流量閉環(huán)控制。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高精度:誤差通常≤±1% F.S.,重復(fù)性達(dá)±0.2% F.S.。

寬量程比:支持1:50至1:100的流量范圍。

寶德8742流量控制器內(nèi)容圖.png

快速響應(yīng):響應(yīng)時(shí)間<300 ms,適用于動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)場(chǎng)景。

環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng):不受溫度、壓力波動(dòng)影響,適合復(fù)雜工況。

行業(yè)應(yīng)用與典型案例

半導(dǎo)體制造

應(yīng)用場(chǎng)景:晶圓清洗、氣相沉積(CVD)、刻蝕工藝中的氣體輸送控制。

案例:在CVD工藝中,TMFC精確控制硅烷(SiH?)流量,確保薄膜均勻性,良率提升15%。

新能源

氫能系統(tǒng):燃料電池中氫氣流量控制,確保反應(yīng)效率與安全。

光伏設(shè)備:監(jiān)測(cè)冷卻氣體流量,優(yōu)化電池生產(chǎn)效率。

科研實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用:催化劑評(píng)價(jià)、氣相色譜載氣控制、細(xì)胞培養(yǎng)氣體配比。

案例:在合成新化合物實(shí)驗(yàn)中,TMFC穩(wěn)定控制反應(yīng)氣體流量,數(shù)據(jù)可靠性提升90%。

選型關(guān)鍵參數(shù)

流量范圍:根據(jù)工藝需求選擇量程。

精度與重復(fù)性:科研/半導(dǎo)體領(lǐng)域優(yōu)先選±0.5% F.S.精度。

響應(yīng)時(shí)間:動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)場(chǎng)景需<100 ms。

材料兼容性:腐蝕性氣體需選耐腐材質(zhì)。

通信接口:工業(yè)場(chǎng)景推薦CANopen/PROFIBUS DP,實(shí)驗(yàn)室可選模擬信號(hào)。

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn):醫(yī)療設(shè)備需FDA認(rèn)證,航空航天需FAA/CAAC認(rèn)證。

burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析

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