burkert寶德熱式氣體質量流量計20001692相關特點介紹

burkert寶德熱式氣體質量流量計20001692相關特點介紹

8742型熱式氣體質量流量計*2600Nml/min,空氣,316L基座,G1/4寸,標定壓力2bar,PROFIBUS DP

儀表|空氣| 2600nml /min | 24 V DC |內螺紋- G1/4" | PROFIBUS

核心特點

高精度與穩(wěn)定性

熱式測量技術：采用毛細管加熱與溫度傳感器閉環(huán)設計，精度達±1% FS。

數字信號處理：通過算法補償溫度、壓力變化，確保長期穩(wěn)定性（年漂移<0.5% FS）。

快速響應時間

壓電閥設計：無磁滯、響應速度<10ms，適合脈沖工藝（如激光切割、噴涂）。

直通式流道：大流量型號壓降<0.2bar，效率提升30%。

多氣體兼容性

軟件校準：預存50+種氣體熱導率數據，一鍵切換氣體類型（如N?、Ar、H?）。

耐腐蝕模塊：可選陶瓷傳感器，耐受Cl?、NH?等腐蝕性氣體。

模塊化與集成化

數字通信：支持Modbus RTU、PROFIBUS DP、EtherNet/IP，方便物聯網集成。

擴展功能：可集成壓力傳感器、溫度傳感器，實現多參數監(jiān)控。

寬溫與高壓適應性

寬溫型：支持-20-80℃環(huán)境溫度（適合戶外或凍干機）。

高壓型：耐受50 bar壓力（適用于超臨界流體工藝）。

應用領域

半導體制造

工藝氣體控制：CVD、ALD中的SiH?、NH?流量控制，確保薄膜均勻性。

真空鍍膜：Ar氣流量控制，支持高真空環(huán)境（<10?3 mbar）。

化工與實驗室

反應釜控制：精確控制H?、O?等反應氣體流量，提升反應效率。

氣相色譜儀：He、N?載氣控制，支持ppm級精度。

生物醫(yī)藥

發(fā)酵罐控制：O?、CO?配比控制，優(yōu)化菌體代謝。

凍干機：N?流量控制，確保產品均一性。

新能源

燃料電池：H?、Air流量控制，提升發(fā)電效率。

光伏制造：NH?、SiH?沉積工藝控制，支持大尺寸晶圓生產。

環(huán)保與科研

大氣監(jiān)測：校準儀中的標準氣體流量控制，確保監(jiān)測精度。

風洞實驗：模擬不同氣體流速，支持航空航天研究。

特點

多參數測量能力

直接測量質量流量：無需補償溫度、壓力變化，簡化系統復雜度。

集成監(jiān)測功能：部分型號可集成溫度、壓力傳感器，提供全面流體數據（如焓值計算）。

寬量程與多氣體兼容

大流量范圍：覆蓋低流量（0-1 SCCM）到高流量（0-1000 SLM）。

軟件校準：支持一鍵切換氣體類型（如N?、Ar、H?），提高設備靈活性。

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